等离子清洁剂去除晶圆键合照片：等离子清洁剂预处理晶圆残留的照片和 BCB，等离子体 接枝聚合 陶瓷重新分配图案化的介电层，线/抗蚀剂蚀刻，以及晶圆材料的表面。提高附着力并去除多余的塑料密封剂/环氧树脂。相对于别的被氧化法和表层镀晶法，等离子体 接枝聚合 陶瓷等离子清洗设备的表面处理方式对纤维性能的影
